常見純水再生系統


3  為簡化的再生式純水系統. 純水系統普遍用於半導體業,LCD產業以及精密電子業之製程用水. 其製程因產品電路系統精密而若清洗水中殘有任何雜質則會使其產品良率降低. 純水與超純水如名所稱,高純度的水在幾乎無任何雜質下其電阻接近理論值的18.2MΩ.cm (0.055μS)左右. 而工業用純水必須從原水開始製成. 程序主要分為前處理, 一次處理, 二次處理以及回收.

前處理的目的是去除水中大部分的雜質,以確保後續的過濾系統能穩定製水. 原水會先加入化學藥劑去除水中的懸浮物, 再經過活性碳以及軟化去除水中一部分的有機物, 餘氯, , 鎂離子等. 前處理後的水會先儲存於水槽.

接著水將再度純化. 水會經過離子交換樹脂槽, 藉由陰與陽離子樹脂表面的交換能力吸附水中的異性離子. 當樹脂表面的吸附能力飽和,樹脂則需要經過再生程序才能再還原本身的吸附能力重複使用. 再生程序利用強酸強鹼化學品來清洗樹脂,去除樹脂表面所吸附的離子. 而樹脂的飽和度可透過監控製出純水的pH, 電阻及導電度變化來斷定是否需要再次再生.   樹脂吸附完後的水再經過多程序的RO過濾後則取得微量離子的純水, 純水則儲入水槽.

純水在抵達使用單位前會再一次的過濾去除水中微量離子. 因這階段的純水僅存有微量離子, 所使用的運送管路及設備都必須使用特殊材料, 來避免循環過程時材料會溶入水中造成水質汙染. 純水先經過UV分解除菌, 再經過樹脂吸附水中最後殘餘的離子. 這時水已達到超純水後直達使用端.

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